晶圓CVD專用濕度發生器

晶圓CVD專用濕度發生器是一款兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規溫濕度測量儀表的計量校準需求。

技術優勢

• 實驗室和便攜就地校準

可以更加快捷、簡便的校準濕度測量儀器、探頭以及濕度數據記錄儀，成為實驗室和便攜的校準方案。

• 更大的測量腔室
  

采用更大的測量腔室設計，艙門可以容納更多的傳感器或探頭同時測量。標準情況下可容納4-5只探頭同時測量，也可容納體積較大的無探頭濕度變送器或濕度記錄儀放置在腔室內測量。

• 較寬的工作范圍

擁有獨立溫度和濕度發生器，熱伺服系統可在5~50℃內提供穩定溫度(20°C環境溫度下)。干燥和加濕系統可以保障相對濕度快速穩定在5~95 %RH之間。

產品特點

測試腔容積達同類產品的3-5倍，為校準作業提供高效的環境支撐。

測試腔可容納各種類型的投入式冷鏡面露點儀探頭，便于展開比對校準工作。

采用組合式傳感器插孔設計，可適配不同直徑規格的溫濕度傳感器及變送器。

測量室配備透明窗口及照明裝置，便于各類小型溫濕度表的讀數操作。

支持同時對4-5支小型溫濕度探頭實施校準。

支持同時對3-5塊常規尺寸數字溫濕度表實施校準。

測試腔在 5°C-50°C全量程范圍內，溫度均勻性優于0.1°℃。

雙區域干燥筒可同時支持分子篩和變色硅膠兩種干燥劑。

具備直觀的液位顯示與干燥器狀態指示功能，便于工作狀態的實時監控。

配置 4 通道外部標準信號輸入功能，支持(0-5)V和(4-20)mA 標準信號接入儀器。

內置濕度換算軟件，方便用戶進行相對濕度、溫度和露點溫度換算。

支持溫濕度曲線顯示，方便用戶查看溫濕度狀態趨勢。

搭載7寸彩色液晶觸摸屏，支持RS485等多種通信接口。