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小型高溫蒸汽發生器出口溫度可調節范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達±1%，蒸氣氣態流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態水蒸發量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

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蒸汽發生器 蒸汽消融用通過精密計量泵精準控制進液量，通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩定地將一路液體蒸發。