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計量校準用濕度發生器兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規溫濕度測量儀表的計量校準需求。

溫濕度發生器 精密實驗室設備高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發生模塊。

標準溫濕度發生器高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發生模塊。

低露點發生器在一定條件下能發生水蒸氣含量穩定且可知的氣流或氣氛的裝置的總稱，可以在相對濕度為2-95%的范圍內控制。同時可以實現氣體流量，溫度的精確控制。自主研發的可蒸發相變技術，可以提供成分濃度穩定（波動小于1%）且可以連續調控的所需氣體。

小型濕度發生器通過改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據道爾頓分壓定律，先使氣體在穩定的高壓狀態下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩定的低壓狀態，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準確測定。

晶圓CVD專用濕度發生器是一款兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規溫濕度測量儀表的計量校準需求。