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標(biāo)準(zhǔn)溫濕度發(fā)生器高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

低露點(diǎn)發(fā)生器在一定條件下能發(fā)生水蒸氣含量穩(wěn)定且可知的氣流或氣氛的裝置的總稱，可以在相對(duì)濕度為2-95%的范圍內(nèi)控制。同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)氣體流量，溫度的精確控制。自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術(shù)，可以提供成分濃度穩(wěn)定（波動(dòng)小于1%）且可以連續(xù)調(diào)控的所需氣體。

小型濕度發(fā)生器通過(guò)改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據(jù)道爾頓分壓定律，先使氣體在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩(wěn)定的低壓狀態(tài)，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據(jù)飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準(zhǔn)確測(cè)定。

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測(cè)量?jī)x表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

半導(dǎo)體測(cè)試專用濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器是一種用于在高溫高濕（85°C溫度和85%相對(duì)濕度）環(huán)境下進(jìn)行可靠性測(cè)試的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于光伏組件、電子元器件、材料老化測(cè)試等領(lǐng)域?。